其中单体四氧化硫可由三氧化硫与氧原子作用或SO3/O3混合物光解制得，氧化水解得到过一硫酸和过二硫酸。氧化它由气态二氧化硫或三氧化硫与氧气在无声放电下制得，氧化通式为SO3+x（0硫的氧化高价氧化物是一类无色聚合物，